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半导体废水处理(芯片半导体污水处理)

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时间:2022-09-17 15:31:47

  半导体工业是一个十分依赖水资源的行业,也是高耗水的行业,尤其在水资源有限的情形下,限水、缺水对半导体生产企业的营运产生巨大压力。因此, 对半导体生产企业节约用水的研究与实践,有助于提升用水效益,降低用水成本。目前,节约用水、中水回用、废水的回收利用已成为半导体业者应对缺水危机的重要措施,特别是废水的回收利用,既能减少对水资源的需求,又能降低生产成本,同时也减少对环境的污染。

  半导体工业废水主要包括两部分:硅圆片切割及研磨的废水及半导体器件封装外壳的电镀废水。其中半导体器件封装外壳的电镀废水主要是指半导体集成电路器件封装外壳的电镀废水以及半导体分立器件封装外壳的电镀废水,即在所述封装外壳的金属零部件上分层电镀起导电及防腐作用的金属层时产生的废水,其中的污染物主要是酸和碱及锡、铅、铜、镍等金属离子,以及有机物和有机络合物等;其中的硅圆片切割及研磨的废水产生于硅圆片的切割研磨工序中,其中含有大量的亚微米级硅颗粒、数十纳米以下的金刚砂磨料颗粒及清洗剂。

  在现有技术中,上述电镀废水及研磨废水通常采用分流处理的方法。其中电镀废水处理目前大多采用化学还原、沉淀、吸附、微电解、蒸发以及离子交换等方法,这些废水处理方法中,(1)需要使用大剂量的氢氧化钠、絮凝剂等,处理过程中产生大量的有害重金属污泥;(2)处理系统占地面积大,流程繁琐;(3)操作复杂,由于这部分生产废水水质不稳定,导致出水水质不稳定,从而无法直接回收利用水资源。